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熱烈祝賀多氟多“磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸關鍵技術及裝備”項目順利通過石化聯合會高水平成果鑒定

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4月23日,多氟多“磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸關鍵技術及裝備”項目科技成果鑒定會議在北京召開,本次會議由中國石油和化學工業聯合會組織。

鑒定委員會由中國科學院院士彭孝軍、清華大學教授翁端、天津大學教授李鑫鋼、北京化工大學教授李群生等行業知名專家組成。石化聯合會科技與裝備部副主任羅其明、副處長曾春陽、主管胡鏑、多氟多董事長李世江、董事楊華春、副總經理薛旭金、張小霞等參加會議。會議由羅其明副主任主持。

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鑒定委員會聽取董事長李世江的工作報告和董事楊華春的研究報告,審閱了相關資料。經質詢和討論,出具鑒定意見:磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸產業化關鍵技術及裝備整體達到國際先進水平,其中:氟硅酸制工業無水氟化氫聯產高品質白炭黑技術部分達到國際領先水平。

超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業不可替代的關鍵電子化學品,其關鍵技術和核心裝備被德日等少數化工企業掌握并長期壟斷,嚴重制約著我國芯片產業的健康可持續發展,是亟待攻克的“卡脖子”技術。面對國家重大戰略需求,多氟多一直以來,堅持科技創新,致力于解決國家“卡脖子”技術進行研發。經過持續攻關,自主開發了以磷肥副產氟硅酸為原料生產工業無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環耦合工藝,構建氨、氟化鈉的閉路循環體系;開發了氟氣預氧化砷—反應精餾—多級膜過濾純化生產超純電子級氫氟酸工藝體系,從工藝、裝備、環境、質量控制等方面突破了痕量雜質脫除關鍵技術;建成了首套磷肥副產氟硅酸生產萬噸級超純電子級氫氟酸聯產高品質白炭黑生產裝置。

本項目利用磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸,緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴,解決了磷肥生產過程氟污染難題,推動了氟化工與磷化工行業健康可持續高質量發展。

超純電子級氫氟酸產品經第三方單位檢測,優于SEMI G5級標準。已經成功應用于國內外高端芯片制造企業,進入了韓國三星和LG供應體系,成為臺積電在中國大陸**的電子級氫氟酸合格供應商,成功實現進口替代,有力支撐了我國電子材料和芯片行業的發展。通過項目實施,實現了工藝綠色化、技術先進化、產品高端化目標。

項目獲得授權專利23項,制定了《工業無水氟化氫》、《工業高純氫氟酸》等6項國家與行業標準,承擔了國家產業振興和技術改造項目、國家綠色低碳技術攻關項目、國家產業基礎再造工程等重點專項6項,成為無機氟新材料領域的典范。

與會專家認為此次項目鑒定組織嚴謹,鑒定內容準備充分,匯報條理清晰,項目實施意義重大。并對項目技術路線、創新點、技術指標等方面給予良好的建議與意見,為下一步高質量申報科學技術獎打下基礎。

會議最后,董事長表示,多年來,多氟多圍繞國家戰略發展方向,瞄準“卡脖子”難題,先后承擔了23個國家級項目,下一步,我們將不負所望、奮發前行,在低品位資源高值高效利用和打造循環產業鏈方面給國家當好試點,闖出一條綠色可持續發展的“新路子”,助力民族工業高質量發展。

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